산업부, 디지털 노광장비 기술 개발 성공

[그린 경제=편도욱 기자] 마스크가 필요없는(Maskless) 8세대급 노광장비 핵심 기술 개발이 성공했다.
이에 따라 연간 약 6000억원 규모의 디스플레이용 노광기 수입 대체효과가 전망되고 있다.

산업통상자원부는 지난 2008년부터 5년간 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업을 통해 212억원을 지원, 원천기술이 없어 전량 수입에 의존하던 대형 노광장비의 핵심기술 개발을 완료했다고 17일 밝혔다.
산업부와 함께 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산․학․연 관련 기관이 참여했다.

노광은 포토마스크에 빛을 쪼여 유리기판에 회로를 형성하는 과정을 말한다.

노광공정의 경우 FPD 제조 공정 중 비용 및 시간적 측면에서 30~40%이상을 차지하는 핵심 공정으로 그동안 일본(니콘, 캐논 등) 등 선진국에서 장비를 전량 수입해 왔다.

노광기는 기술 수준이 매우 높고, 외국 장비기업의 엄격한 통제로 인해 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못했기 때문.

이에 따라 연간 국내 디스플레이 노광장비의 수입 규모는 지난 2008년부터 지난해까지 연평균 5억 8000만 달러 달하는 실정이다.

이번 기술개발로 국내 디스플레이 산업기술이 외국 장비기업을 통해 경쟁국에 유출되는 위험을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 향후 국산 노광장비의 수출효과가 전망되고 있다.
특히 이번에 개발된 기술은 디지털방식의 대형 노광기술로 기술 자립화 및 원가 절감에 따른 가격 경쟁력 향상효과도 기대되고 있다.

산업부 관계자는 "이번에 개발된 기술의 핵심인 아날로그 노광기의 핵심부품인 Mask를 디지털화한 기술은 ‘필름 카메라 → 디지털 카메라’로 진보한 것과 같이 기존 기술 대비 공정기간 단축 및 원가절감의 효과가 매우 클 것"이라며 "디지털 노광 기술의 자립과 세계 최고 기술력 유지를 위해 관련 부품의 자급체계 및 상용화를 위한 인프라 구축 등을 지속 지원할 계획"이라고 말했다.