SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 도입…'수율 개선'

SK하이닉스는 반도체 공정에 AI 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다.

지난해 11월 SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'는 가상 계측 'AI솔루션 판옵테스 VM'(Panoptes Virtual Metrology) 소프트웨어 제품을 출시했다. SK하이닉스는 지난달부터 판옵테스 VM을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용하고 있다.
판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션으로, 판옵테스 라는 이름은 그리스 신화에 나오는 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는 거인, '판옵테스'에서 따왔다. 즉, 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링한다는 의미이다.

판옵테스 VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정으로, 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요되어, 전수 계측하는 것은 매우 어렵다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다. 그 후 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 APC와 연동하여 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.


정진주 글로벌이코노믹 기자 pearl99@g-enews.com