닛케이(日本經濟新聞)가 지난 3월 중국 상하이(上海)에서 개최된 ‘세미콘 차이나 2021(Semicon China 2021)’에서 실시한 조사에서 중국 반도체제조 장비업체 7개사가 수주받은 대부분이 14~28나노미터(nm)의 반도체칩을 제조하는 기계였다고 응답했다. 일부 장비업체는 더 구식반도체를 주문받았다고 답했다. 현재 대만의 TSMC와 삼성전자 등의 최첨단 반도체제조업체는 5nm 반도체칩을 생산하고 있다.
중국 최대 포토 리소그래피 생산업체인 상하이마이크로전자(上海微電子‧SMEE)의 엔지니어는 주력제품은 현재 90nm 리소그래피이며 28nm 및 14nm모델의 수율을 개선할 필요가 있다라고 말했다. 중미반도체(AMEC)의 연구자는 5nm의 엣칭시스템을 제공하고 있지만 주력으로는 14nm와 28nm 머신을 판매하고 있다고 설명했다.
또다른 엣칭시스템 제조업체인 베이징 이타운 세미컨덕터 테크놀로지(BeijingE-Town Semiconductor Technology Co.)는 40nm 시스템과 몇몇 28nm 시스템 주문을 주로 처리하고 있다고 언급했다.
조사에 응답한 7개사중 5nm 프로세스용의 제품을 개발할 수 있는 업체는 AMEC뿐이었으며 다른 모든 업체들은 14nm이상의 세대제품을 제조하고 있는 상황이다.
미국의 제재조치는 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체인 중신궈지(中芯國際·SMIC) 등 중국 파운드리업계에 악영향을 미치고 있다. 지난해 3분기에는 14 및 28nm 칩이 SMIC의 매출액의 14.6%를 차지했지만 4분기까지 매출의 5%로 감소했다.
조사회사 IC인사이트는 올해 1월에 중국의 반도체자급률이 2025년에 약 19.4%에 불과할 것이라고 예측했다. 절반이상은 실제로는 TSMC와 한국 SK하이닉스와 삼성전자 등 해외 제조업체의 중국내 제조시설이 차지하는 상황이다. 중국기업만으로 볼 때 자급률은 약 10%로 떨어진다.
박경희 글로벌이코노믹 기자 hjcho1017@g-enews.com