중국 정부, 네덜란드 정부에 ASML의 반도체 장비 판매 압력

중국 정부가 반도체 제조 핵심 장비 제조회사 ASML로부터 최신 반도체를 만드는데 필수적인 극자외선 리소그래피 시스템(노광장비)을 구매하기 위해 네덜란드 정부를 압박하고 있다. 그러나 미국이 장비 공급에 대해 절대 반대 입장을 보이고 있다고 월스트리트저널이 17일(현지시간) 보도했다. 극자외선 리소그래피는 세계에서 유일하게 ASML만이 제조할 수 있다.

세계에서 유일무이한 180t짜리 이 기계는 인텔, 삼성전자, TSMC 등 세계적인 반도체 업체들이 첨단 스마트폰과 5G 셀룰러 장비부터 인공지능에 사용되는 컴퓨터에 이르기까지 모든 분야의 칩을 제조하는 핵심 장비다. 이 장비가 없으면 첨단 칩을 제조하는 것이 불가능하고 가격도 대당 1억5000만 달러를 호가한다.

중국은 국내 칩 제조업체를 위해 이 장비 구매를 시도하고 있다. 화웨이 등 중국 기술 회사들의 반도체 수급 자립을 노린다. 그러나 ASML은 미국의 압력을 받고 있는 네덜란드가 중국에 대한 수출 허가를 보류, 단 한 대의 장비도 보내지 못했다.

미국 관리에 따르면 바이든 행정부는 국가 안보를 이유로 중국에 판매를 제한할 것을 네덜란드 정부에 요청했다. 리소그래피 장비의 전략적 가치를 파악한 트럼프 전 대통령의 정책을 그대로 유지하고 있는 것이다. ASML과 네덜란드를 겨냥한 압력은 광범위한 미중 기술 전쟁의 부수적인 현상이다.
ASML의 피터 웬닝크 최고경영자(CEO)는 “특정 국가 안보 문제에서 수출 통제는 유효한 도구”라면서도 “반도체 리더십에 대한 광범위한 국가 전략의 일환으로 정부가 규제를 남용할 경우 R&D를 줄임으로써 중기적으로 혁신을 늦추게 된다. 수출 통제가 글로벌 칩 제조 능력을 감소시켜 공급망 문제를 악화시킬 수 있다"고 지적했다.

미국의 로비는 중국-네덜란드 긴장을 불렀다. 네덜란드 주재 중국 대사는 작년에 네덜란드 신문에 ASML이 장비를 중국에 판매하는 것이 허용되지 않으면 무역 관계가 손상될 것이라고 경고했다.

미국의 압박은 트럼프 행정부에서 시작됐다. 당시 국가안보보좌관이었던 찰스 쿠퍼만은 2019년 네덜란드 외교관을 백악관으로 초청해 중국에 대한 수출 중단을 협의했다. ASML의 장비 제작에 미국 부품이 들어간다는 점을 강조하면서 백악관은 해당 부품의 네덜란드 수출을 제한할 권한이 있다고 말했다.

관계자는 바이든 역시 수출 통제를 위해 서방 국가들과 동맹을 맺으려 한다고 말했다. 이는 또한 ASML을 넘어 전 세계적으로 이미 압박을 받고 있는 반도체 공급망을 더욱 혼란스럽게 만들 수 있다.

ASML은 1990년대 네덜란드 대기업 로열 필립스에서 분사됐다. 장비는 웨이퍼 표면에 극자외선 레이저를 쪼여 반도체 회로 패턴을 형성하는 기능을 한다. 회로 패턴이 그려지면 화학물질을 사용해 회로를 깎아 낸다. 에칭장비가 그 역할을 한다. 리소그래피와 에처는 반도체 제조 공정에서 가장 핵심적인 양대 장비다. 반도체에서 5나노 공정은 회로의 폭이 2억분의 1m라는 의미다. 그만큼 회로가 가늘고 선폭이 좁다. 사람의 머리카락 한 가닥의 지름은 7만 5000나노미터다. 캐논이나 니콘 등이 유사한 장비를 만들고 있지만 이들 장비로는 첨단 칩 제조가 불가능하다.

조민성 글로벌이코노믹 기자 mscho@g-enews.com