생기원은 16일 고온에너지시스템그룹 허훈 박사 연구팀이 화학 증착 소재 실시간 증착막 측정 시스템을 만들었다고 밝혔다.
현재는 박막을 꺼낸 뒤 별도 분석기기로 검사하지만 연구팀은 증착 장비 안에서 곧바로 확인할 수 있는 용기 안(In-situ) 라만 분광(Raman spectroscopy) 장치를 만들었다.
이 장치는 '단색의 빛을 기체 또는 투명한 액체·고체에 쬐면 산란광 속에 파장이 약간 다른 빛이 생긴다'는 라만 효과를 기반으로 한다.
특수한 빛의 배열인 라만 스펙트럼을 활용하면, 장비 내부에서 바로 박막 소재 농도·결정구조·결정성 등 다양한 정보를 파악할 수 있다고 연구팀은 설명했다.
연구팀은 유전율(Permittivity)을 유추할 수 있는 분석 기법도 내놨다.
유전율은 물체에 전기장을 가했을 때 전기를 띠는 현상이 발생하는 정도를 말한다.
허훈 박사는 "시간과 비용이 많이 드는 기존 박막 분석 방식 한계를 국내 기술력으로 극복한 것"이라며 "소재·장비 국산화에 기여할 것으로 기대한다"고 말했다.
이번 성과는 국가과학기술연구회 창의형 융합연구사업 과제를 통해 3년 만에 얻은 결실이다.
기술 상용화를 위해 연구팀은 반도체 소재 기업과 논의를 진행 중이다.
이태준 글로벌이코노믹 기자 tjlee@g-enews.com