이미지 확대보기극자외선(EUV)이라는 고급 광학 기술을 이용해 반도체 제작 공정 가운데 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 공정을 처리하는 리소그래피(lithography), 즉 반도체 노광 장비의 공급이 절대적으로 부족한 실정인데 이 장비의 수급 불안이 단기간에 해소되기 어려울 것으로 예상되고 있기 때문이다.
첨단 EUV 노광 장비는 반도체 공정에서 가장 중요한 부분을 차지하기 때문에 반도체 제조업체들이 투자 확대를 통해 반도체 공급량을 늘리는데 나서더라도 노광 장비의 공급 문제가 해소되지 않으면 투자 확대의 결과가 제한적일 수 밖에 없다.
반도체 제조업체의 향배가 이 장비를 얼마나 확보하느냐에 달려 있다는 말이 나오는 이유다.
◇베닝크 ASML CEO “EUV 노광기 수급난 해소에 2년 걸려”
이미지 확대보기영국의 유력 경제 일간 파이낸셜타임스(FT)는 핵심 관련업체 대표의 발언을 인용해 반도체 노광장비의 공급 불안이 현재 해소되지 않고 있으며 이 문제가 해결되려면 앞으로 2년 정도가 필요할 것으로 예상된다고 21일(현지시간) 보도했다.
이같은 전망을 내놓은 곳은 네덜란드의 EUV 노광기 제조업체인 ASML. 지난 1984년 설립된 ASML은 네덜란드 굴지의 전자업체 필립스와 필립스에서 분사한 반도체 제조장비 기업 ASMI의 합작회사로 EUV 노광장비를 전세계 반도체 제조업체들에 독점 공급하고 있는 기업이다.
피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 FT와 인터뷰에서 “올해 공급량을 지난해보다 늘리고 내년 공급량도 올해보다 늘릴 계획이지만 전세계적인 수요에 부응하기에는 부족한 상황”이라면서 “내년은 물론 내후년까지 EUV 노광기 부족 문제가 해결되기는 어려울 것”이라고 우려했다.
베닝크 CEO는 “앞으로 생산능력을 50% 이상 배가시킨다는 계획이지만 여기에는 시간이 걸릴 수 밖에 없다”며 이같이 밝혔다.
그의 발언은 현재 전세계적인 EUV 노광기 수요가 생산량을 50% 가까이 웃돌고 있는 가운데 수요와 공급의 균형이 맞으려면 최소 2년 정도가 필요하다는 뜻으로 해석된다.
한 대 가격이 2000억원이 넘는 것으로 알려진 EUV 노광기는 최소 1년 전에 미리 주문해야 장비를 받아볼 수 있을 만큼 공급난이 심각한 상황이다.
IT 전문 블로그 라디오프리모바일의 리처드 윈저 IT 담당 애널리스트는 FT와 인터뷰에서 “ASML은 반도체 공급망에서 가장 중요한 역할을 담당하는 결정적인 기업”이라면서 “ASML의 장비 없이 반도체에 회로를 그리는 것은 불가능하다”고 밝혔다.
◇인텔 “공장 증설 계획에 차질 있는게 사실”
베닝크 CEO의 발언은 글로벌 반도체업계가 반도체 수급 불안 해소를 위해 앞다퉈 투자 확대에 나서고 있는 가운데 나온 것이어서 관련업계의 향후 행보와 전략에 상당한 영향을 미칠 전망이다.
세계 최대 종합반도체기업인 미국 인텔의 팻 겔싱어 CEO는 FT와 인터뷰에서 “EUV 노광장비의 수급 불안으로 인텔의 반도체 생산시설 증설 계획에 차질을 주고 있는 것이 사실”이라면서 “베닝크 CEO와 직접 이 문제를 놓고 협의를 벌이고 있다”고 밝혔다.
그는 “회사 관계자를 ASML 측에 파견해 EUV 노광기 생산량을 늘릴 수 있도록 지원하고 있다”고 덧붙였다.
인텔은 향후 10년간 유럽에 반도체 생산공장 두곳을 신설하기 위해 800억유로(약 110조원)를 투자한다고 최근 발표한 바 있다.
이혜영 글로벌이코노믹 기자 rock@g-enews.com
























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