네덜란드 ASML, 웨이퍼 2나노 광학 측정장비 대만 공장 신설

대만 경제부는 반도체 장비 제조업체 ASML이 대만에서의 웨이퍼 2나노 광학 측정 장비 연구·개발(R&D)에 2억8500만 대만달러(약 121억5240만 원)를 지원할 것이라고 타이베이타임즈가 2일(현지 시간) 보도했다.

네덜란드에 본사를 둔 ASML은 지난해 11월에 글로벌 고객사와 현지 반도체 산업 발전을 위해 대만에서의 투자를 확대하고 신베이시 린커우구에서 공장을 신설할 계획을 발표했다.
ASML은 세계 유일한 반도체 첨단 극자외선(EUV) 리소그래피 생산·공급업체이며 대만의 ‘A+ 산업 혁신 R&D 프로젝트’에 참여해 2나노 광학 측정 장비 R&D 자금을 획득했다.

대만 경제부는 “2억8500만 대만달러의 지원금은 해당 프로젝트의 투자 총액 9억5000만 위안(약 1751억6100만 원)의 30%를 차지했다”고 밝혔다.

해당 프로젝트는 세계 최초로 알려졌다.

ASML은 현지 반도체 자급률을 35%로 높이고, 대만 공급업체 6곳을 도입하며 대만 국내에서의 조달액이 7200억 대만달러(약 30조7008억 원)로 늘릴 목표를 삼고 있기 때문에 이는 현지 반도체 공급망의 역량을 강화할 전망이다.

대만 정부 관리는 “ASML이 대만에서의 투자 확대 결정은 대만이 완전한 공급망을 가지고 있으며 반도체 고객사, 공급업체들과 가깝기 때문”이라고 설명했다.

앞서 ASML은 지난 2020년 8월 대만 남부 도시인 타이난의 과학기술단지에서 글로벌 EUV 엔지니어 교육센터를 설립했다.

양지혜 글로벌이코노믹 기자 tvxqhae@g-enews.com