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EUV·ArF 소재 90% 일본 의존…SMIC·화훙 파운드리 3~6개월 내 가동 압박
ASML·니콘·캐논까지 묶인 ‘철의 삼각’…중국 칩 산업 5~10년 후퇴 경고
ASML·니콘·캐논까지 묶인 ‘철의 삼각’…중국 칩 산업 5~10년 후퇴 경고
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중국의 주류 반도체 제조에 사용되는 KrF 및 ArF 포토레지스트 또한 90% 이상이 일본에서 수입되고 있어, 일본이 포토레지스트 공급을 제한할 경우 중국 제조업이 "쌀로 요리할 수 없다"는 딜레마에 직면할 수 있다는 분석이 나온다.
블로거의 분석에 따르면, 일본 기업인 신에츠케미컬(Shin-Etsu Chemical)과 JSR은 전 세계 포토레지스트 시장의 50% 이상을 독점하고 있으며, 고급 EUV 포토레지스트의 95% 이상을 통제하고 있다. 중국의 전체 포토레지스트 수입은 80~90%를 일본에 의존하고 있다.
2023년, 일본은 '공급망 불안정'을 이유로 생산을 중단했으며, 2025년 10월까지 19종의 주요 반도체 재료에 대해 최대 25%의 징벌적 관세를 공식적으로 부과했다. 이러한 상황에서 11월 신에츠의 중국 수출은 전월 대비 42% 급감했다.
리소그래피 장비 서비스 중단 및 예비 부품 부족
중국은 현재 1200대 이상의 EUV 리소그래피 기계를 보유하고 있으며, 그 중 90%가 일본의 캐논(Canon)과 니콘(Nikon)의 애프터서비스 지원에 의존하고 있다.
2025년 11월, 캐논과 니콘은 일본의 개별 승인 정책과 예비 부품 수출 제한 정책에 맞춰 중국에 대한 서비스를 더욱 강화했다. 이로 인해 다시 한번 "중국의 공급망이 목에서 끊겼다"는 지적이 나오고 있다. 중국 산업계는 현재 리소그래피 기계용 예비 부품 재고가 약 3개월에서 6개월 정도 지속될 것으로 추정하고 있다.
일본이 계속 공급을 차단한다면, SMIC와 화홍 세미컨덕터(Hua Hong Semiconductor)와 같은 중국의 파운드리들은 상당한 생산 압박을 받을 수 있다.
일본의 포토레지스트 제한은 중국 당국에 공포를 불러일으키고 있는데, 포토레지스트와 리소그래피 기계는 칩 생산의 핵심 장비이자 재료이며, 이는 베이징이 크게 의존하지만 단기적으로 대체할 수 없는 중요한 연결고리이기 때문이다.
일본은 90nm, 40nm, 28nm 칩에 주로 사용되는 DUV(심층자외선) 리소그래피 기계 기술도 보유하고 있어, 휴대폰 칩, 자동차 칩, 가전제품 등 광범위한 분야에 영향을 미칠 수 있다.
전문가들은 중국이 일본의 리소그래피 소재를 갖추지 못할 경우 반도체 생산 능력이 5년에서 10년 정도 후퇴할 수 있다고 예측한다.
전 세계적으로 가장 진보된 리소그래피 기계 회사인 네덜란드 ASML 또한 중국으로의 수출을 제한하고 있어, 일본이 포토레지스트 수출을 전면 제한하면 베이징에 대한 '미국, 일본, 네덜란드'의 철삼각형 봉쇄가 형성되어 중국 반도체 산업이 사실상 마비될 것이라는 우려가 커지고 있다.
중국의 기술 탈취 실패와 국내 장비 부족
중국 정부는 2014년부터 2024년까지 반도체 제조 분야의 '공급봉쇄' 문제를 해결하기 위해 3000억 위안 이상을 투자했지만, 칩 생산에서 진정한 돌파구는 이루어지지 않았다. 중국은 여전히 칩 설계 소프트웨어(EDA), 제조 장비, 자재에 대해 외국 공급업체에 크게 의존하고 있다.
2024년 말까지 중국 기업들은 리소그래피 기계, 화학-기계 연마, 박막 증착, 포장 및 시험, 에칭, 세척 도구 분야에서 더딘 진전을 이루고 있으며, 여전히 외국 공급업체에 크게 의존하고 있다. 2024년 중국은 반도체 장비를 410억 달러 상당으로 구매해 전 세계 판매의 40%를 차지했지만, 자국내 장비는 11.3%에 불과하다.
2025년 11월 19일, 일본 기업 캐논과 미쓰비시 케미컬(Mitsubishi Chemical)은 중국 기술 기업에 주요 광저항 소모품 공급을 중단하고, 서비스팀을 철수했으며, 중국 내 관련 수리 서비스를 중단하여 일부 생산 라인에 영향을 미칠 가능성이 있다.
2025년 11월, 일본 경제산업성(METI)은 고급 ArF/EUV 광저항을 포함한 12종의 핵심 반도체 재료를 수출 통제 목록에 올려 42개 중국 기업에 대한 공급을 제한했다.
신민철 글로벌이코노믹 기자 shincm@g-enews.com
