"하루 만에 신장비 6대 쏟아냈다"… 中 AMEC, '식각 넘어 증착까지' 美 제재 정면 돌파

미국의 대중국 반도체 제조 장비 수출 통제가 갈수록 촘촘해지는 가운데, 중국 굴지의 반도체 장비 기업 중웨이반도체(AMEC·Advanced Micro-Fabrication Equipment)가 하루 만에 첨단 식각과 증착 장비 6대를 동시에 공개하며 기술 자립을 향한 광폭 행보에 나섰다.

기존 주력 분야였던 식각(Etch) 장비에 머무르지 않고 미국 램리서치(Lam Research), 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT), 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 과점해 온 박막 증착(Deposition)과 차세대 전력반도체(SiC) 제조 영역으로 제품군을 급속히 다변화해, 전공정 핵심 장비 생태계 전반을 국산화하겠다는 전략이다.

9월 3일(현지시각) 홍콩 영자 일간지 사우스차이나모닝포스트(SCMP) 보도에 따르면, AMEC는 장쑤성 우시(Wuxi)에서 열린 반도체 산업 컨퍼런스에서 웨이퍼 식각기, 초박막 증착 시스템, 탄화규소(SiC) 전력 반도체 제조 설비를 아우르는 신형 상용 장비 6종을 전격 발표했다.

특히 이번에 공개된 6개 신제품 중 4개가 박막 증착 장비로 구성되어 있어, AMEC가 '단일 식각 장비 전문사'의 틀을 벗고 종합 반도체 장비 플랫폼 기업으로의 체질 전환을 공식화했다는 평가가 나온다.

이 같은 초고속 제품 출시는 천문학적인 연구개발(R&D) 투자와 개발 주기 압축이 뒷받침됐다.

AMEC는 최근 투자자 설명회에서 과거 3~5년이 소요되던 신규 장비 개발 기간을 "2년 이하"로 대폭 단축했다고 밝혔다.

실제로 AMEC는 올해 상반기에만 전년 동기 대비 36.9% 급증한 20억 4,000만 위안(약 4,119억 원)을 R&D에 투입했다.

이는 상반기 회사 전체 매출액의 30.5%에 달하는 막대한 비중이다.
현재 6개 핵심 장비 카테고리에 걸쳐 20종 이상의 신형 기계가 개발 파이프라인에 올라 있다.

AMEC는 이미 지난 3월 '세미콘 차이나(SEMICON China)'에서 선보인 4대의 신제품에 이어 불과 6개월 만에 두 번째 대규모 신제품 라인업을 쏟아냈다.

현재까지 AMEC가 독자 개발한 장비는 식각 머신 26종, 박막 증착 장비 24종을 포함해 총 54종에 달하며, 화학기계연마(CMP)와 계측·검사 장비까지 포함할 경우 프론트엔드(전공정) 반도체 장비 카테고리의 30% 이상을 자체 커버하고 있다.


AMEC의 창업자이자 회장인 인즈야오(Gerald Yin Zhiyao)는 "자체 기술 개발과 전략적 인수를 병행해 향후 5년 내 중국 첨단 집적회로 장비 시장의 커버리지를 60% 이상으로 대폭 끌어올릴 것"이라는 청사진을 제시했다.

이를 뒷받침할 물리적 생산 인프라도 대규모 확장에 들어갔다.

현재 약 60만㎡ 수준인 공장 연면적을 향후 5년 동안 상하이 린강(Lingang) 신구, 광둥성 광저우, 쓰촨성 청두에 신규 생산 시설을 완공해 총 90만㎡ 규모로 50% 확대할 계획이다.

중국 내 반도체 파운드리와 메모리 제조사들이 미국의 추가 제재를 우려해 자국산 장비 채택을 의무화하면서 쏟아지는 수주 물량을 소화하기 위한 포석이다.


중국 소부장 진영의 공세는 전방위적이다.

파이오텍(Piotech)은 상반기 최소 7대의 신형 증착 장비를 공개했고, 중국 최대 종합 장비사인 북방화창(Naura Technology) 역시 5종 이상의 신제품을 발표하며 자립 전선을 넓히고 있다.

글로벌 투자은행 번스타인 리서치(Bernstein Research)에 따르면, 2025년 기준 중국 건식 식각 장비 시장의 약 31%, 박막 증착 장비의 약 27%를 이미 중국 로컬 장비사들이 장악한 것으로 추산된다.

건식 식각에서는 AMEC와 북방화창이 양대 산맥을 형성하고 있으며, AMEC는 이번 발표를 통해 증착 시장 점유율 확대를 선언했다.

골드만삭스는 최근 보고서에서 "중국 반도체 장비 산업이 단순 단위 공정 장비의 국산화를 넘어, 고종횡비(HAR) 에처, 원자층증착(ALD), 첨단 광학 검사·계측 등 고난도 장비를 망라하는 포괄적 제품군으로 진화하고 있다"고 평가했다.

골드만삭스는 중국 내 전체 웨이퍼 팹 장비(WFE) 시장에서 중국 로컬 장비사의 매출 점유율이 2026년 31%에서 2028년 38%까지 가파르게 상승할 것으로 전망했다.

AMEC의 하루 6대 신장비 공개는, 향후 ‘미국의 원천기술 차단에도 불구하고 R&D 주기 단축과 공격적 자본 투입으로 전공정 장비의 전면 국산화를 가속하는 중국 소부장 생태계의 비약적 성장 속도’를 증명하는 동시에 ‘글로벌 반도체 장비 3강(AMAT·램리서치·TEL)이 독점해 온 박막·식각 밸류체인에 구조적 균열을 일으키는 중대한 분수령’으로 작용할 전망이다.


신경원 글로벌이코노믹 기자 shincm@g-enews.com