2024.07.12 05:51
일본 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)이 극자외선(EUV) 공정의 한계를 극복할 수 있는 새로운 기술을 선보였다. EUV 공정은 첨단 반도체 생산에 필수적인 기술이지만, 미세화가 진행될수록 발생하는 여러 문제점으로 인해 수율 확보에 어려움을 겪고 있다.11일(현지시간) 톰스하드웨어에 따르면 도쿄일렉트론이 개발한 '아크레비아(Acrevia)'는 EUV 공정 후 패턴을 정교하게 다듬는 가스 클러스터 빔(GCB) 시스템이다. 기존 EUV 공정에서는 더 미세한 회로를 구현하기 위해 '더블 패터닝'이라는 복잡한 과정을 거쳐야 했지만, 아크레비아는 이 과정을 생략하거나 줄일 수 있어 생산 비용 절감 및 수율 향상 효과가 기대된다.아크레비아는 웨이![[글로벌-Biz 24]삼성전자, 7나노 EUV 공정 양산 돌입](https://nimage.g-enews.com/phpwas/restmb_setimgmake.php?w=214&h=142&m=5&simg=201810181115120577496aa5dcdf118396190229.jpg)
2018.10.18 13:35
삼성전자가 극자외선(EUV) 노광 장비를 적용한 7나노(7LPP) 공정 개발을 마치고 생산에 돌입한다. 대만 TSMC가 독주 체제를 굳히고 있는 파운드리 시장에 균열을 낼지 주목된다. 삼성전자 DS부문 미주총괄 밥 스티어(Bob Stear) 시니어 디렉터는 18일(현지시간) 미국 실리콘밸리에 위치한 삼성전자 미주법인(DSA)에서 열린 ‘삼성 테크 데이 2018’에서 이같이 밝혔다.그는 “7LPP 공정은 삼성전자가 EUV 노광 기술을 적용하는 첫 번째 파운드리 공정”이라며 “삼성전자는 이번 생산을 시작으로 7나노 공정을 본격 상용화하고 향후 3나노까지 이어지는 공정 미세화를 선도하게 됐다”고 설명했다.반도체 공정이 10나노 이하로 접어들며 기존에 사1
마이크론 시간외 주가 "돌연 급락" …삼성전자 SK하닉 풍향계
2
SEC 비트코인 규제 대대적 철폐 "뉴욕증시 암호화폐 환호 폭발"
3
리플 XRP, '디지털 상품' 분류로 족쇄 풀렸다…규제 패러다임 전격 전환
4
파월, FOMC 금리인하 축소 시사
5
이란 가스전 대규모 폭발 "국제유가 급등"
6
국제유가 "돌연 급등" 이란 호르무즈 대대적 공습...로이터
7
삼성전자, 반도체 '5년 장기계약' 꺼냈다…AI 메모리 공급난 "출구가 없다"
8
"리사수 방한 이유 HBM4에 있었다"…삼성전자, AMD에 HBM4 공급
9
코스피200 야간선물 2.04% 상승…860선 돌파
