반도체 현장 아이디어가 창업으로…경기도 IP 지원 결실 맺어

반도체 제조 현장에서 출발한 기술 아이디어가 경기도와 지식재산처의 지식재산 지원을 거쳐 특허 출원과 정부 창업지원금 확보, 창업기업 설립까지 이어졌다.

17일 도에 따르면, 경기테크노파크 경기지식재산센터의 'IP디딤돌 프로그램'에 참여한 김태한 대표는 반도체 제조공정의 RF 임피던스 매칭을 자동으로 제어하는 기술을 구체화해 '알에프솔루션'을 창업했다.

김 대표는 예비창업자 시절 광학 방출 분광법(OES)과 머신러닝을 결합해 플라즈마 상태를 실시간으로 측정하고 RF 임피던스 매칭 Preset 값을 자동 조정하는 기술을 구상했지만 특허 명세서 작성과 사업화 전략 수립에 어려움을 겪었다.

경기지식재산센터는 아이디어 상담부터 기술 고도화, 특허 전략과 교육 등을 지원했다. 이를 통해 시스템 구조와 핵심 기술을 구체화하고 '플라즈마 챔버의 RF 임피던스 매칭 제어 장치' 특허 출원까지 마쳤다.
특허 확보를 위한 기반을 마련한 뒤에는 사업화도 속도를 냈다. 김 대표는 정부 '예비창업패키지' 사내벤처팀에 선정돼 약 1억6000만원의 지원금을 확보하고 단국대학교 죽전캠퍼스 창업보육센터 입주를 확정한 뒤 알에프솔루션을 정식 창업했다.

알에프솔루션은 이후 RF Power를 실시간으로 모니터링하는 프로토타입 'SkyProbe'를 개발했다. 앞으로 반도체 제조 현장의 RF 데이터를 수집·분석하고 OES와 머신러닝을 활용한 RF 임피던스 매칭 제어 기술을 고도화할 계획이다.

또 현장 실증과 후속 특허 출원을 통해 지식재산권을 확대하고 국내 반도체 제조사 및 장비사와의 협력도 추진한다는 구상이다.

김태한 대표는 "반도체 공정의 안정성과 생산수율 향상, 설비 유지비용 절감 및 핵심 부품 국산화에 기여하는 반도체 전력·제어 전문기업으로 성장하겠다"고 말했다.

한편 'IP디딤돌 프로그램’ 사업은 매년 초 공고되며, 참여를 희망하는 기업은 지역지식재산센터 홈페이지를 통해 신청할 수 있다.

이지은 글로벌이코노믹 기자 dlwldms799@naver.com