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글로벌 반도체 3사, 네덜란드 ASML의 최첨단 EUV장비 쟁탈전

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글로벌 반도체 3사, 네덜란드 ASML의 최첨단 EUV장비 쟁탈전

네덜란드 반도체 기업 ASML의 리소그래피 장비.이미지 확대보기
네덜란드 반도체 기업 ASML의 리소그래피 장비.
ASML은 반도체 제조용 광학 노광 공정 장치를 만드는 네덜란드 굴지의 다국적 기업이다. 극자외선(EUV) 노광 장치를 독점하는 기업으로 널리 알려져 있다. 글로벌 반도체 칩 부족은 칩을 생산하기 위해 더 많은 EUV와 듀브 장비를 구입해야 함을 의미한다. 반도체 칩을 더 작게 만들고 더 적은 에너지 소비를 하게 하려면 EUV 기술이 반드시 필요하다.

이 분야에서 ASML은 실질적으로 독점권을 가지고 있다. 시가총액은 293조 원 규모다.
글로벌 반도체 3강인 TSMC, 인텔, 삼성전자가 최근 반도체 수급 차질을 겪고 투자 확대에 나서면서 첨단 칩 제조를 위해 ASML의 EUV 장비 확보에 본격적으로 나서고 있다.

◇ASML의 경쟁력


ASML은 네덜란드 벨트호벤에 본사를 두고 있는 세계 최대의 노광장비 기업으로 필립스와 ASMI의 합작으로 설립됐다. 현재는 필립스가 모든 지분을 가지고 있다. 2018년 기준 리소그래피 장비업계에서 85% 점유율을 자랑한다.

특히 n나노대의 반도체를 제작하기 위해서는 EUV 노광 장비가 필수적인데 이 장비를 제작할 수 있는 회사는 전 세계에서 ASML 한 곳 뿐이다. 이 모델들은 1대당 1400억 원이 족히 넘는 초고가 장비이고 공급량도 제한된다.

이런 거액을 지불할 여력이 되는 반도체기업은 전 세계에 삼성전자, TSMC, 인텔 정도이고, 이 회사들이 3대 고객사다. 이들 3사는 ASML의 지분 23%를 취득하고 있다.
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반도체 기술 로드맵


시장 분석가에 따르면 지난 분기 ASML은 8개의 EUV 기계와 76대의 듀브 머신(노광장비의 일종, ASML 제조)을 판매했다. 듀브 칩은 생산하기 쉽고 장비가 저렴하기 때문에 비용을 절감할 수 있다. 듀브 머신은 평균 3900만 달러에 판매되고 있다.
기술 발전으로 인해 시간이 지남에 따라 가격이 하락할 것으로 예상하지만, 향후 몇 년간 기계에 대한 엄청난 수요 때문에 더 비싸질 것으로 전망된다.

◇첨단 반도체 칩 생산과 EUV 장비 수요와 비례

반도체 슈퍼 사이클이 진행된 2018년부터 TSMC의 EUV 장비 매매수가 경쟁사를 압도하고 있다. EUV 장비를 처음으로 발주하기 시작한 건 삼성전자였지만 파운드리 시장 1위인 대만의 TSMC에서도 7nm EUV 양산 테스트를 성공적으로 마치면서 EUV 장비 확보에 열을 올리기 시작했다.

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EUV 장비 구매를 보면 확실히 TSMC가 우위에 있다. 최첨단 반도체 칩 생산에 필요한 EUV 장비를 많이 가질수록 경쟁력을 갖기 때문이다. 위 표에서 2022년부터는 수요 예상이다. 표에는 나오지 않지만 SK하이닉스의 경우 매년 1대씩을 구입하고 있다.

2019년 하반기 기준 선발주자들이 EUV 장비를 이용한 포토 공정에서 안정화 단계에 접어들고 있는 상황이며 ASML도 지속적으로 장비를 개선 중에 있다. 인텔은 도입을 강화하고 있다.

반도체 칩의 공정이 고도화될수록 이를 제조하는 데 사용하는 EUV도 고도화된다. 2020년 3nm부터는 차세데 EUV 장비가 사용된다. 금액도 더 비싸질 것이라고 한다.

TSMC와 삼성전자, 인텔이 최첨단 반도체 칩 생산을 위해 더 많은 투자를 선언한 가운데 EUV 장비 확보전이 본격화될 전망이다.


박정한 글로벌이코노믹 기자 park@g-enews.com