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이 중에서도 실리콘 웨이퍼에 반도체 설계도인 초미세 회로를 새겨 넣는 극자외선(EUV) 노광장비가 핵심이다.
EUV로 미세하게 조각하고 남는 실리콘 덩어리가 바로 트랜지스터다. 이 장비를 가장 잘 만드는 회사가 바로 네덜란드의 ASML이다.
7나노 이하 첨단 반도체 공정에는 ASML의 EUV 장비만 쓰인다.
대당 가격이 2000억원에 이르는 이유다. 연간 출하량도 40대 안팎이다.
이 장비를 가장 많이 확보한 곳이 세계 1위 반도체 파운드리인 대만 TSMC이고, 한국의 삼성과 SK하이닉스가 그 뒤를 잇고 있다.
ASML은 이미 경기도 화성에 1억8100만 달러를 투자해 조립공장을 가동 중이다. ASML의 해외 투자 규모로는 최대급이다.
대만에는 5개 공장 4500명의 직원을 두고 있다. ASML은 대만 투자를 기화로 EUV 생산 능력을 2년 후 연간 90대로 높인다는 구상이다.
2025년 매출 목표는 현재의 2배인 400억 유로다. 2030년까지 매출을 600억 유로로 늘린다는 장기계획도 세워놓았다.
윤석열 대통령이 이번에 ASML 공장을 시찰하면서 본 장비는 NA EUV 노광기다. 대당 5000억원 하는 장비다.
내년 말 공급될 초도물량 6대는 모두 인텔에 인계될 예정이다. 인텔이 2나노칩 경쟁에서 유리한 국면이다.
삼성과 SK하이닉스로서도 2나노급 공정의 효율성을 높이려면 이 장비가 필요하다. 반도체 생산은 장비 확보가 무엇보다 중요하기 때문이다.
업계에서는 윤 대통령과 기업인들의 이번 네덜란드 방문에 거는 기대가 크다. 특히 첨단 반도체 장비를 만드는 기술 개발에 공동 노력하기로 한 점은 큰 기대를 걸 만하다.
