'EUV 장비 도입 1개월→10일로 단축'…가스안전공사, ASML 코리아와 규제 개선 협의

반도체 초미세 공정의 핵심인 EUV(극자외선) 노광장비는 ASML이 전 세계 독점 공급한다. 대당 가격이 약 2억5000만 달러에 달하는 이 장비가 국내 공장에 설치되기까지 걸리는 검사 기간이 최대 34일에서 9~10일로 단축된다.

한국가스안전공사는 ASML 코리아와 반도체 산업 현장의 고압가스 안전관리 기준 합리화와 향후 협력 방안을 협의했다고 11일 전했다.

공사에 따르면 EUV 장비가 기존 '고압가스 제조시설'에서 '고압가스 특정설비'로 재분류된다. 이 변화로 국내 설치 현장은 물론 해외 제작 현장에서도 검사를 받을 수 있게 됐다. 기존에는 반드시 국내에 들어온 뒤 검사를 받아야 했다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 검사 기간이 기존 34일에서 최대 9~10일로 줄어들 전망이다. 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들이 ASML 장비 도입에 드는 행정·시간적 부담을 크게 덜 수 있다.

ASML은 EUV 장비를 2026~2027년 대량 양산 목표로 공급을 확대 중이다. 국내 주요 반도체 기업들도 해당 장비를 발주한 상태로, 도입 속도가 공정 경쟁력과 직결된다.

가스안전공사는 그간 EUV 장비 도입 과정에서 제기된 현장 애로를 해소하기 위해 검사 절차 개선과 신소재 규격 인정 등 관련 제도를 정비해 왔다. 이번 협의는 그 연장선에서 ASML 코리아와 추가 협력 방안을 모색하는 자리였다.

박경국 가스안전공사 사장은 "안전이 지켜지는 기술적 토대 위에 과도한 규제의 합리적 개선이 필요하다"며 "산업계와 지속적으로 소통해 나가겠다"고 밝혔다.

산업통상자원부는 시행령 개정안을 통해 이번 주 중 해당 기준을 공포·즉시 시행할 예정이다. 액화이산화탄소 세정설비 국내 상용화를 위한 맞춤형 검사기준도 함께 신설된다.

전수연 글로벌이코노믹 기자 2040sysm@g-enews.com