[특징주] 티로보틱스, 日 반도체 유리기판 이송용 진공로봇 특허 '급등'

티로보틱스가 급등하고 있다. 반도체 유리기판 이송용 진공로봇 관련 기술의 일본 특허 등록을 마쳤다는 소식이 전해지면서 투심을 자극한 것으로 보인다.

28일 한국거래소에 따르면 오전 10시12분 현재 티로보틱스는 전 거래일보다 12.95% 오른 1만9980원을 기록하고 있다. 장 초반에는 28%대까지 오르기도 했다.

티로보틱스는 이날 '진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 장치'에 대한 일본 특허 등록을 완료했다고 밝혔다. 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화된 진공로봇 기술과 관련한 특허다.

앞서 티로보틱스는 지난해 반도체대전(SEDEX 2025)에서 유리기판 이송용 진공로봇을 공개한 바 있다.

김은진 글로벌이코노믹 기자 happyny777@g-enews.com

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