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삼성전자 관계자는 3일 "일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했다"며 "민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획이다"라고 밝힌 것으로 전해졌다.
이번에 투입된 불화수소에는 국내 업체가 만든 제품도 포함된 것으로 알려졌다.
일본이 지난 7월 초 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 2개월여만이다.
이효정 글로벌이코노믹 기자 lhj@g-enews.com
삼성전자, 반도체 공정에 일본산 불화수소 일부 대체
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